Herstellung von mikromechanischen Beschleunigungssensoren in LIGA-Technik
| Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT) |
| Publikationstyp | Forschungsbericht/Preprint |
| Publikationsjahr | 1991 |
| Sprache | Deutsch |
| Identifikator | urn:nbn:de:swb:90-AAA2700307703 KITopen-ID: 270030770 Reportnummer: KFK-4859 |
| HGF-Programm | 16.01.04 (Vor POF, LK 01) |
| Serie | KfK-Berichte ; 4859 |