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LIGA-Sensoren und intelligente Sensorsysteme zur Messung von Beschleunigungen

Strohrmann, M.; Fromhein, O.; Keller, W.; Lindemann, K.; Mohr, J.



Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT)
Institut für Angewandte Informatik (IAI)
Hauptabteilung Prozessinstrumentierung und Elektronik (HPE)
Publikationstyp Forschungsbericht/Preprint
Publikationsjahr 1993
Sprache Deutsch
Identifikator KITopen-ID: 270034349
Reportnummer: KFK-5238
HGF-Programm 41.01.05 (Vor POF, LK 01)
Erscheinungsvermerk 1.Statuskolloquium des Projektes Mikrosystemtechnik, Karlsruhe, 23.-24.September 1993 KfK-5238 (September 93)
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