Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT) |
Publikationstyp | Forschungsbericht/Preprint |
Publikationsjahr | 1993 |
Sprache | Deutsch |
Identifikator | KITopen-ID: 270034359 Reportnummer: KFK-5238 |
HGF-Programm | 41.01.01 (Vor POF, LK 01) |
Erscheinungsvermerk | 1.Statuskolloquium des Projektes Mikrosystemtechnik, Karlsruhe, 23.-24.September 1993 KfK-5238 (September 93) |