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Optische Lithographie als Strukturierungsmethode der Mikrotechnik und spezielle Anwendungen fuer den LIGA-Prozess

Schulz, J. ORCID iD icon; Mohr, J.


Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT)
Publikationstyp Forschungsbericht/Preprint
Publikationsjahr 1993
Sprache Deutsch
Identifikator KITopen-ID: 270034359
Reportnummer: KFK-5238
HGF-Programm 41.01.01 (Vor POF, LK 01)
Erscheinungsvermerk 1.Statuskolloquium des Projektes Mikrosystemtechnik, Karlsruhe, 23.-24.September 1993 KfK-5238 (September 93)
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