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Mechanische Mikrofertigung - Verfahren und Anwendungen

Bier, W.; Guber, A.; Linder, G.; Schaller, Th.; Schubert, K.



Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT)
Hauptabteilung Versuchstechnik (HVT)
Publikationstyp Forschungsbericht
Jahr 1993
Sprache Deutsch
Identifikator KITopen-ID: 270034360
Reportnummer: KFK-5238
HGF-Programm 41.01.06 (Vor POF, LK 01)
Erscheinungsvermerk 1.Statuskolloquium des Projektes Mikrosystemtechnik, Karlsruhe, 23.-24.September 1993 KfK-5238 (September 93)
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