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Arbeitsergebnisse aus der Aufbau- und Verbindungstechnik fuer die Integration mikrosystemtechnischer Komponenten

Seidel, D.; Keller, W.; Maas, D.



Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT)
Publikationstyp Forschungsbericht/Preprint
Publikationsjahr 1993
Sprache Deutsch
Identifikator KITopen-ID: 270034365
Reportnummer: KFK-5238
HGF-Programm 41.04.01 (Vor POF, LK 01)
Erscheinungsvermerk 1.Statuskolloquium des Projektes Mikrosystemtechnik, Karlsruhe, 23.-24.September 1993 KfK-5238 (September 93)
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