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Automatische Vermessung von 2D- und 3D-LIGA-Strukturen zur Qualitaetskontrolle

Guth, H.; Duepmeier, C.; Goik, M.; Hellmann, A.; Studky, U.



Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Angewandte Informatik (IAI)
Publikationstyp Forschungsbericht/Preprint
Publikationsjahr 1993
Sprache Deutsch
Identifikator KITopen-ID: 270034367
Reportnummer: KFK-5238
HGF-Programm 41.05.02 (Vor POF, LK 01)
Erscheinungsvermerk 1.Statuskolloquium des Projektes Mikrosystemtechnik, Karlsruhe, 23.-24.September 1993 KfK-5238 (September 93)
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