Automatische Vermessung von 2D- und 3D-LIGA-Strukturen zur Qualitaetskontrolle

Guth, H.; Duepmeier, C.; Goik, M.; Hellmann, A.; Studky, U.

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Zugehörige Institution(en) am KIT	Institut für Angewandte Informatik (IAI)
Publikationstyp	Forschungsbericht/Preprint
Publikationsjahr	1993
Sprache	Deutsch
Identifikator	KITopen-ID: 270034367 Reportnummer: KFK-5238
HGF-Programm	41.05.02 (Vor POF, LK 01)
Erscheinungsvermerk	1.Statuskolloquium des Projektes Mikrosystemtechnik, Karlsruhe, 23.-24.September 1993 KfK-5238 (September 93)