| Zugehörige Institution(en) am KIT | Projekt Mikrosystemtechnik (PMT) |
| Publikationstyp | Forschungsbericht/Preprint |
| Publikationsjahr | 1993 |
| Sprache | Deutsch |
| Identifikator | urn:nbn:de:swb:90-AAA2700346497 KITopen-ID: 270034649 Reportnummer: KFK-5238 |
| HGF-Programm | 41 (Vor POF, LK 01) |
| Serie | KfK-Berichte ; 5238 |
| Nachgewiesen in | OpenAlex |