CAD und optische Qualitätskontrolle für LIGA-Mikrostrukturen
Scherer, K. P.; Eggert, H.; Guth, H.; Stiller, P.; Stucky, U.
| Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Angewandte Informatik (IAI) |
| Publikationstyp | Forschungsbericht/Preprint |
| Publikationsjahr | 1995 |
| Sprache | Deutsch |
| Identifikator | KITopen-ID: 270037984 Reportnummer: FZKA-5670 |
| HGF-Programm | 41.05.01 (Vor POF, LK 01) |
| Erscheinungsvermerk | 2.Statuskolloquium des Projektes Mikrosystemtechnik, Karlsruhe, 28.-29.November 1995 Wissenschaftliche Berichte, FZKA-5670 (November 95) |