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Keramische Mikrostrukturen und ihre Anwendungen in der Mikrosystemtechnik

Ritzhaupt-Kleissl, H.J.; Bauer, W.; Knitter, R.



Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Materialforschung (IMF)
Publikationstyp Forschungsbericht/Preprint
Publikationsjahr 1995
Sprache Deutsch
Identifikator KITopen-ID: 270038233
Reportnummer: FZKA-5670
HGF-Programm 41.02.03 (Vor POF, LK 01)
Erscheinungsvermerk 2.Statuskolloquium des Projektes Mikrosystemtechnik, Karlsruhe, 28.-29.November 1995 Wissenschaftliche Berichte, FZKA-5670 (November 95)
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