Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT) |
Publikationstyp | Forschungsbericht/Preprint |
Publikationsjahr | 1995 |
Sprache | Deutsch |
Identifikator | KITopen-ID: 270038354 Reportnummer: FZKA-5670 |
HGF-Programm | 41.03.03 (Vor POF, LK 01) |
Erscheinungsvermerk | 2.Statuskolloquium des Projektes Mikrosystemtechnik, Karlsruhe, 28.-29.November 1995 (Poster) Wissenschaftliche Berichte, FZKA-5670 (November 95) |