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Integration von mikromechanischen und mikroelektronischen Komponenten mit Hilfe der positionierten Abformung auf vorstrukturierten Substraten

Both, A.; Bacher, W.; Heckele, M.; Müller, K.D.



Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT)
Publikationstyp Forschungsbericht/Preprint
Publikationsjahr 1995
Sprache Deutsch
Identifikator KITopen-ID: 270038357
Reportnummer: FZKA-5670
HGF-Programm 41.01.04 (Vor POF, LK 01)
Erscheinungsvermerk 2.Statuskolloquium des Projektes Mikrosystemtechnik, Karlsruhe, 28.-29.November 1995 (Poster) Wissenschaftliche Berichte, FZKA-5670 (November 95)
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