Elektromagnetische Linearmikroaktoren nach dem LIGA-Verfahren
Rogge, B.; Schulz, J.
; Mohr, J.; Thommes, A.; Menz, W.
; Mohr, J.; Thommes, A.; Menz, W.| Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT) |
| Publikationstyp | Forschungsbericht/Preprint |
| Publikationsjahr | 1995 |
| Sprache | Deutsch |
| Identifikator | KITopen-ID: 270038359 Reportnummer: FZKA-5670 |
| HGF-Programm | 41.03.03 (Vor POF, LK 01) |
| Erscheinungsvermerk | 2.Statuskolloquium des Projektes Mikrosystemtechnik, Karlsruhe, 28.-29.November 1995 (Poster) Wissenschaftliche Berichte, FZKA-5670 (November 95) |