KIT | KIT-Bibliothek | Impressum | Datenschutz

Miniaturisierungsschritte in der Mikroelektronik

Wüstling, S.; Fromhein, O.; Gemmeke, H.; Krömer, O.



Zugehörige Institution(en) am KIT Hauptabteilung Prozessinstrumentierung und Elektronik (HPE)
Publikationstyp Forschungsbericht/Preprint
Publikationsjahr 1995
Sprache Deutsch
Identifikator KITopen-ID: 270038367
Reportnummer: FZKA-5670
HGF-Programm 41.06.01 (Vor POF, LK 01)
Erscheinungsvermerk 2.Statuskolloquium des Projektes Mikrosystemtechnik, Karlsruhe, 28.-29.November 1995 (Poster) Wissenschaftliche Berichte, FZKA-5670 (November 95)
KIT – Die Forschungsuniversität in der Helmholtz-Gemeinschaft
KITopen Landing Page