Miniaturisierungsschritte in der Mikroelektronik

Wüstling, S.; Fromhein, O.; Gemmeke, H.; Krömer, O.

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Zugehörige Institution(en) am KIT	Hauptabteilung Prozessinstrumentierung und Elektronik (HPE)
Publikationstyp	Forschungsbericht/Preprint
Publikationsjahr	1995
Sprache	Deutsch
Identifikator	KITopen-ID: 270038367 Reportnummer: FZKA-5670
HGF-Programm	41.06.01 (Vor POF, LK 01)
Erscheinungsvermerk	2.Statuskolloquium des Projektes Mikrosystemtechnik, Karlsruhe, 28.-29.November 1995 (Poster) Wissenschaftliche Berichte, FZKA-5670 (November 95)