Mikrofertigung und Analytik mit der Synchrotronlichtquelle ANKA: Dienstleistungsangebot an die Industrie

Moser, H. O.; Bley, P.; Einfeld, D.; Schweickert, H.; Steininger, R.

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Zugehörige Institution(en) am KIT	Hauptabteilung Zyklotron (HZY) Projekt Mikrosystemtechnik (PMT)
Publikationstyp	Forschungsbericht/Preprint
Publikationsjahr	1995
Sprache	Deutsch
Identifikator	KITopen-ID: 270038368 Reportnummer: FZKA-5670
HGF-Programm	41.01.02 (Vor POF, LK 01)
Erscheinungsvermerk	2.Statuskolloquium des Projektes Mikrosystemtechnik, Karlsruhe, 28.-29.November 1995 (Poster) Wissenschaftliche Berichte, FZKA-5670 (November 95)