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LIGA-Strukturen auf Piezo-Substraten als Mikroaktoren für opto- und elektromechanische Anwendungen

Debeda, H.; Wallrabe, U.; Weddigen, A.



Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Materialforschung (IMF)
Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT)
Publikationstyp Forschungsbericht/Preprint
Publikationsjahr 1998
Sprache Deutsch
Identifikator KITopen-ID: 270042932
Reportnummer: FZKA-6080
HGF-Programm 41.06.01 (Vor POF, LK 01)
Erscheinungsvermerk 3.Statuskolloquium des Projektes Mikrosystemtechnik, Karlsruhe, 2.-3.April 1998 Wissenschaftliche Berichte, FZKA-6080 (März 98)
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