Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT) |
Publikationstyp | Forschungsbericht/Preprint |
Publikationsjahr | 1998 |
Sprache | Deutsch |
Identifikator | KITopen-ID: 270042940 Reportnummer: FZKA-6080 |
HGF-Programm | 42.02.01 (Vor POF, LK 01) |
Erscheinungsvermerk | 3.Statuskolloquium des Projektes Mikrosystemtechnik, Karlsruhe, 2.-3.April 1998 Wissenschaftliche Berichte, FZKA-6080 (März 98) |