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Montage hybrider Mikrosysteme

Gengenbach, U.; Engelhardt, F.; Ruther, P.; Scharnowell, R.; Seidel, D.



Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT)
Institut für Angewandte Informatik (IAI)
Publikationstyp Forschungsbericht/Preprint
Publikationsjahr 1998
Sprache Englisch
Identifikator KITopen-ID: 270043029
Reportnummer: FZKA-6080
HGF-Programm 41.04.04 (Vor POF, LK 01)
Erscheinungsvermerk 3.Statuskolloquium des Projektes Mikrosystemtechnik, Karlsruhe, 2.-3.April 1998 Wissenschaftliche Berichte, FZKA-6080 (März 98)
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