Montage hybrider Mikrosysteme

Gengenbach, U.; Engelhardt, F.; Ruther, P.; Scharnowell, R.; Seidel, D.

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Zugehörige Institution(en) am KIT	Institut für Angewandte Informatik (IAI) Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT)
Publikationstyp	Forschungsbericht/Preprint
Publikationsjahr	1998
Sprache	Englisch
Identifikator	KITopen-ID: 270043029 Reportnummer: FZKA-6080
HGF-Programm	41.04.04 (Vor POF, LK 01)
Erscheinungsvermerk	3.Statuskolloquium des Projektes Mikrosystemtechnik, Karlsruhe, 2.-3.April 1998 Wissenschaftliche Berichte, FZKA-6080 (März 98)