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Flexible Integration von Kunststoff- und Metallmikrostrukturen auf prozessierten Siliziumwafern

Müller, K.D.; Bacher, W.; Heckele, M.



Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT)
Publikationstyp Forschungsbericht/Preprint
Publikationsjahr 1998
Sprache Deutsch
Identifikator KITopen-ID: 270043048
Reportnummer: FZKA-6080
HGF-Programm 41.01.03 (Vor POF, LK 01)
Erscheinungsvermerk 3.Statuskolloquium des Projektes Mikrosystemtechnik, Karlsruhe, 2.-3.April 1998 Wissenschaftliche Berichte, FZKA-6080 (März 98)
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