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ALIGA: Ein Service-Center für Mikrosystemkomponenten in LIGA-Technik

Börner, M.; Behringer, U.; Karl, B.; Maas, D.; Schulz, J.; Gerner, M.; Scheunemann, U.


Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT)
Publikationstyp Forschungsbericht/Preprint
Publikationsjahr 1998
Sprache Deutsch
Identifikator KITopen-ID: 270043053
Reportnummer: FZKA-6080
HGF-Programm 41.04.02 (Vor POF, LK 01)
Erscheinungsvermerk 3.Statuskolloquium des Projektes Mikrosystemtechnik, Karlsruhe, 2.-3.April 1998 Wissenschaftliche Berichte, FZKA-6080 (März 98)
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