Prüftechniken zur Qualitätssicherung von Mikrostrukturen und Mikrokomponenten

Rohde, M.; Adelhelm, C.; Aktaa, J.; Feit, K.; Zimmermann, H.; Zum Gahr, K. H.

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Zugehörige Institution(en) am KIT	Institut für Materialforschung (IMF) Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT)
Publikationstyp	Forschungsbericht/Preprint
Publikationsjahr	1998
Sprache	Deutsch
Identifikator	KITopen-ID: 270043175 Reportnummer: FZKA-6080
HGF-Programm	41.02.03 (Vor POF, LK 01)
Erscheinungsvermerk	3.Statuskolloquium des Projektes Mikrosystemtechnik, Karlsruhe, 2.-3.April 1998 Wissenschaftliche Berichte, FZKA-6080 (März 98)