Synchrotronstrahlungsquelle ANKA - fortgeschrittene Röntgenbestrahlungstechnik für die Mikrofertigung
| Zugehörige Institution(en) am KIT | Projektgruppe Errichtung ANKA (PEA) |
| Publikationstyp | Forschungsbericht/Preprint |
| Publikationsjahr | 1998 |
| Sprache | Deutsch |
| Identifikator | KITopen-ID: 270043193 Reportnummer: FZKA-6080 |
| HGF-Programm | 41.00.00 (Vor POF, LK 01) |
| Erscheinungsvermerk | 3.Statuskolloquium des Projektes Mikrosystemtechnik, Karlsruhe, 2.-3.April 1998 Wissenschaftliche Berichte, FZKA-6080 (März 98) |