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Synchrotronstrahlungsquelle ANKA - fortgeschrittene Röntgenbestrahlungstechnik für die Mikrofertigung

Göttert, J.; Moser, H. O.


Zugehörige Institution(en) am KIT Projektgruppe Errichtung ANKA (PEA)
Publikationstyp Forschungsbericht/Preprint
Publikationsjahr 1998
Sprache Deutsch
Identifikator KITopen-ID: 270043193
Reportnummer: FZKA-6080
HGF-Programm 41.00.00 (Vor POF, LK 01)
Erscheinungsvermerk 3.Statuskolloquium des Projektes Mikrosystemtechnik, Karlsruhe, 2.-3.April 1998 Wissenschaftliche Berichte, FZKA-6080 (März 98)
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