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Design, Herstellung und Charakterisierung eines mikromechanischen Gyrometers auf der Basis der LIGA-Technik

Schumacher, K.; Wallrabe, U.; Mohr, J.



Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT)
Publikationstyp Forschungsbericht
Jahr 1999
Sprache Deutsch
Identifikator KITopen ID: 270045974
Reportnummer: FZKA-6361
HGF-Programm 41.07.01; LK 01
Erscheinungsvermerk Wissenschaftliche Berichte, FZKA-6361 (August 99)
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