Design, Herstellung und Charakterisierung eines mikromechanischen Gyrometers auf der Basis der LIGA-Technik
| Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT) |
| Publikationstyp | Forschungsbericht/Preprint |
| Publikationsjahr | 1999 |
| Sprache | Deutsch |
| Identifikator | KITopen-ID: 270045974 Reportnummer: FZKA-6361 |
| HGF-Programm | 41.07.01 (Vor POF, LK 01) |
| Erscheinungsvermerk | Wissenschaftliche Berichte, FZKA-6361 (August 99) |