Produktionstechnik für bewegliche Mikrostrukturen auf strukturierten Substraten am Beispiel des Beschleunigungssensors. Ergebnisbericht des Verbundprojektes PROBE
| Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT) Projekt Mikrosystemtechnik (PMT) |
| Publikationstyp | Forschungsbericht/Preprint |
| Publikationsjahr | 1999 |
| Sprache | Deutsch |
| Identifikator | KITopen-ID: 270046328 Reportnummer: FZKA-PFT |
| HGF-Programm | 41.01.03 (Vor POF, LK 01) |
| Erscheinungsvermerk | Wissenschaftliche Berichte, FZKA-PFT 192 (November 98) |