| Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Angewandte Informatik (IAI) |
| Publikationstyp | Forschungsbericht/Preprint |
| Publikationsjahr | 1999 |
| Sprache | Deutsch |
| Identifikator | KITopen-ID: 270046329 Reportnummer: FZKA-PFT |
| HGF-Programm | 41.04.04 (Vor POF, LK 01) |
| Erscheinungsvermerk | Produktionstechnik für bewegliche Mikrostrukturen auf struktuierten Substraten am Beispiel des Beschleunigungssensors : Ergebnisbericht des Verbundprojektes PROBE Wissenschaftliche Berichte, FZKA-PFT 192 (November 98) |