| Zugehörige Institution(en) am KIT | Projekt Mikrosystemtechnik (PMT) |
| Publikationstyp | Forschungsbericht/Preprint |
| Publikationsjahr | 2000 |
| Sprache | Deutsch |
| Identifikator | KITopen-ID: 270048804 Reportnummer: FZKA-6564 |
| HGF-Programm | 41.02.02 (Vor POF, LK 01) |
| Erscheinungsvermerk | Wissenschaftliche Berichte, FZKA-6564 (November 2000) |