| Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Produktionstechnik (WBK) |
| Publikationstyp | Zeitschriftenaufsatz |
| Publikationsjahr | 2002 |
| Sprache | Englisch |
| Identifikator | ISSN: 0946-7076 KITopen-ID: 27432002 |
| Erschienen in | Microsystem Technologies |
| Verlag | Springer |
| Band | 8 |
| Heft | 6 |
| Seiten | 402 - 408 |