Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Produktionstechnik (WBK) |
Publikationstyp | Zeitschriftenaufsatz |
Publikationsjahr | 2002 |
Sprache | Englisch |
Identifikator | ISSN: 0946-7076 KITopen-ID: 27432002 |
Erschienen in | Microsystem Technologies |
Verlag | Springer |
Band | 8 |
Heft | 6 |
Seiten | 402 - 408 |