Quality factor of coplanar niobium resonators on LaAlO₃ substrates at 4.2 K as a function of RIE-process parameters
| Zugehörige Institution(en) am KIT | Fakultät für Elektrotechnik und Informationstechnik – Institut für Elektrotechnische Grundlagen der Informatik (IEGI) |
| Publikationstyp | Proceedingsbeitrag |
| Publikationsjahr | 1998 |
| Sprache | Englisch |
| Identifikator | KITopen-ID: 274798 |
| Erschienen in | 3rd SCENET-Workshop on Superconductor Materials for Electronic Applications, Villa Pamphili, Rome 1998 |
| Veranstaltung | 3rd SCENET-Workshop on Electronic Applications of Superconductivity (1998), Rom, Italien, 15.01.1998 – 17.01.1998 |
| Seiten | 39 |
| Externe Relationen | Konferenz |