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Quality factor of coplanar niobium resonators on LaAlO₃ substrates at 4.2 K as a function of RIE-process parameters

Benz, G.; Scherer, Theo; Neuhaus, Manfred; Jutzi, Wilhelm


Zugehörige Institution(en) am KIT Fakultät für Elektrotechnik und Informationstechnik – Institut für Elektrotechnische Grundlagen der Informatik (IEGI)
Publikationstyp Proceedingsbeitrag
Publikationsjahr 1998
Sprache Englisch
Identifikator KITopen-ID: 274798
Erschienen in 3rd SCENET-Workshop on Superconductor Materials for Electronic Applications, Villa Pamphili, Rome 1998
Veranstaltung 3rd SCENET-Workshop on Electronic Applications of Superconductivity (1998), Rom, Italien, 15.01.1998 – 17.01.1998
Seiten 39
Externe Relationen Konferenz
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