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Planarisierung miniaturisierter Nb-Schaltungen durch chemisch-mechanisches Polieren (CMP)

Neuhaus, Manfred; Goetz, Martin; Esser, G.; Scherer, Theo; Jutzi, Wilhelm


Zugehörige Institution(en) am KIT Fakultät für Elektrotechnik und Informationstechnik – Institut für Elektrotechnische Grundlagen der Informatik (IEGI)
Publikationstyp Zeitschriftenaufsatz
Publikationsjahr 1998
Sprache Deutsch
Identifikator ISSN: 0420-0195
KITopen-ID: 274898
Erschienen in Verhandlungen der Deutschen Physikalischen Gesellschaft
Verlag Teubner
Heft 627
Seiten 24-47
Bemerkung zur Veröffentlichung Frühjahrstagung der Deutschen Physikalischen Gesellschaft DPG, DPG, 1998
KIT – Die Forschungsuniversität in der Helmholtz-Gemeinschaft
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