Planarisierung miniaturisierter Nb-Schaltungen durch chemisch-mechanisches Polieren (CMP)
| Zugehörige Institution(en) am KIT | Fakultät für Elektrotechnik und Informationstechnik – Institut für Elektrotechnische Grundlagen der Informatik (IEGI) |
| Publikationstyp | Zeitschriftenaufsatz |
| Publikationsjahr | 1998 |
| Sprache | Deutsch |
| Identifikator | ISSN: 0420-0195 KITopen-ID: 274898 |
| Erschienen in | Verhandlungen der Deutschen Physikalischen Gesellschaft |
| Verlag | Teubner |
| Heft | 627 |
| Seiten | 24-47 |
| Bemerkung zur Veröffentlichung | Frühjahrstagung der Deutschen Physikalischen Gesellschaft DPG, DPG, 1998 |