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Stand und Perspektiven des Programms Mikrosystemtechnik

Bley, P.



Zugehörige Institution(en) am KIT Projekt Mikrosystemtechnik (PMT)
Publikationstyp Buchaufsatz
Jahr 2000
Sprache Deutsch
Identifikator KITopen ID: 280047271
HGF-Programm 41.00.00; LK 01
Seiten 5-13
Erscheinungsvermerk 4.Statuskolloquium des Programms Mikrosystemtechnik, Karlsruhe, 30.-31.März 2000 Wissenschaftliche Berichte, FZKA-6423 (März 2000)
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