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Fertigung von Mikrokomponenten nach DIN EN ISO 9001 an einem Forschungsinstitut

Maas, D.; Ehnes, R.; Jakobs, P.J.; Karl, B.; Köhler, U.; Lienert, C.; Saile, V.; Schulz, J.



Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT)
Publikationstyp Buchaufsatz
Jahr 2000
Sprache Deutsch
Identifikator KITopen ID: 280047281
HGF-Programm 41.08.02; LK 01
Seiten 75-79
Erscheinungsvermerk 4.Statuskolloquium des Programms Mikrosystemtechnik, Karlsruhe, 30.-31.März 2000 Wissenschaftliche Berichte, FZKA-6423 (März 2000)
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