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Automatisierung der Aufbau- und Verbindungstechnik für die Mikrosystemtechnik am Beispiel metalloxidischer Gassensor-Chips

Blank, T.



Zugehörige Institution(en) am KIT Hauptabteilung Prozessinstrumentierung und Elektronik (HPE)
Publikationstyp Buchaufsatz
Jahr 2000
Sprache Deutsch
Identifikator KITopen-ID: 280047287
HGF-Programm 41.05.01 (Vor POF, LK 01)
Seiten 117-22
Erscheinungsvermerk 4.Statuskolloquium des Programms Mikrosystemtechnik, Karlsruhe, 30.-31.März 2000 Wissenschaftliche Berichte, FZKA-6423 (März 2000)
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