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Funktionsschichten für mikroverfahrenstechnische Bauteile

Fichtner, M.; Benzinger, W.; Haas-Santo, K.; Pfeifer, P.; Wunsch, R.



Zugehörige Institution(en) am KIT Hauptabteilung Versuchstechnik (HVT)
Publikationstyp Buchaufsatz
Jahr 2000
Sprache Deutsch
Identifikator KITopen ID: 280047292
HGF-Programm 41.04.01; LK 01
Seiten 151-57
Erscheinungsvermerk 4.Statuskolloquium des Programms Mikrosystemtechnik, Karlsruhe, 30.-31.März 2000 Wissenschaftliche Berichte, FZKA-6423 (März 2000)
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