KIT | KIT-Bibliothek | Impressum | Datenschutz

Herstellung von Formeinsätzen aus Nickel bis 120 mm Durchmesser mit Hilfe konventioneller Optischer Lithographie

Chung, S.J.; Hein, H.



Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT)
Publikationstyp Buchaufsatz
Jahr 2000
Sprache Deutsch
Identifikator KITopen ID: 280047297
HGF-Programm 41.01.01; LK 01
Seiten 187-88
Erscheinungsvermerk 4.Statuskolloquium des Programms Mikrosystemtechnik, Karlsruhe, 30.-31.März 2000 Wissenschaftliche Berichte, FZKA-6423 (März 2000)
KIT – Die Forschungsuniversität in der Helmholtz-Gemeinschaft KITopen Landing Page