KIT | KIT-Bibliothek | Impressum | Datenschutz

Fertigung von Mikrostrukturen durch Röntgentiefenlithographie an der Karlsruher Synchrotronstrahlungsquelle ANKA

Pantenburg, F. J.; Mohr, J.; Moser, H. O.; Häfele, K. H.


Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Angewandte Informatik (IAI)
Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT)
Publikationstyp Buchaufsatz
Publikationsjahr 2000
Sprache Deutsch
Identifikator KITopen-ID: 280047298
HGF-Programm 41.01.01 (Vor POF, LK 01)
Seiten 189-90
Erscheinungsvermerk 4.Statuskolloquium des Programms Mikrosystemtechnik, Karlsruhe, 30.-31.März 2000 Wissenschaftliche Berichte, FZKA-6423 (März 2000)
KIT – Die Forschungsuniversität in der Helmholtz-Gemeinschaft
KITopen Landing Page