Galvanische und aussenstromlose Methoden zur Herstellung metallischer Mikrostrukturen
Bade, K.
; Fath, A.; Guttmann, M.; Walch, E.
; Fath, A.; Guttmann, M.; Walch, E.| Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Materialforschung (IMF) Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT) |
| Publikationstyp | Buchaufsatz |
| Publikationsjahr | 2000 |
| Sprache | Deutsch |
| Identifikator | KITopen-ID: 280047299 |
| HGF-Programm | 41.01.02 (Vor POF, LK 01) |
| Seiten | 191-92 |
| Erscheinungsvermerk | 4.Statuskolloquium des Programms Mikrosystemtechnik, Karlsruhe, 30.-31.März 2000 Wissenschaftliche Berichte, FZKA-6423 (März 2000) |