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Galvanische und aussenstromlose Methoden zur Herstellung metallischer Mikrostrukturen

Bade, K.; Fath, A.; Guttmann, M.; Walch, E.



Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Materialforschung (IMF)
Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT)
Publikationstyp Buchaufsatz
Jahr 2000
Sprache Deutsch
Identifikator KITopen ID: 280047299
HGF-Programm 41.01.02; LK 01
Seiten 191-92
Erscheinungsvermerk 4.Statuskolloquium des Programms Mikrosystemtechnik, Karlsruhe, 30.-31.März 2000 Wissenschaftliche Berichte, FZKA-6423 (März 2000)
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