Komponenten zum Aufbau modularer Mikrofertigungssysteme
Gengenbach, U.; Hofmann, A.
; Köhler, B.; Just, E.; Kohl, M.; Eberle, F.; Engelhardt, F.; Scharnowell, R.
; Köhler, B.; Just, E.; Kohl, M.; Eberle, F.; Engelhardt, F.; Scharnowell, R.| Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Angewandte Informatik (IAI) Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT) |
| Publikationstyp | Buchaufsatz |
| Publikationsjahr | 2000 |
| Sprache | Deutsch |
| Identifikator | KITopen-ID: 280047305 |
| HGF-Programm | 41.03.02 (Vor POF, LK 01) |
| Seiten | 203-04 |
| Erscheinungsvermerk | 4.Statuskolloquium des Programms Mikrosystemtechnik, Karlsruhe, 30.-31.März 2000 Wissenschaftliche Berichte, FZKA-6423 (März 2000) |