Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT) |
Publikationstyp | Buchaufsatz |
Publikationsjahr | 2000 |
Sprache | Deutsch |
Identifikator | KITopen-ID: 280047308 |
HGF-Programm | 41.07.01 (Vor POF, LK 01) |
Seiten | 209-10 |
Erscheinungsvermerk | 4.Statuskolloquium des Programms Mikrosystemtechnik, Karlsruhe, 30.-31.März 2000 Wissenschaftliche Berichte, FZKA-6423 (März 2000) |