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Optische 2x2-Schaltmatrix mit elektromechanischen Stellelementen

Ruzzu, A.; Mohr, J.; Wallrabe, U.



Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT)
Publikationstyp Buchaufsatz
Jahr 2000
Sprache Deutsch
Identifikator KITopen ID: 280047311
HGF-Programm 41.07.01; LK 01
Seiten 215-16
Erscheinungsvermerk 4.Statuskolloquium des Programms Mikrosystemtechnik, Karlsruhe, 30.-31.März 2000 Wissenschaftliche Berichte, FZKA-6423 (März 2000)
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