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Massenproduktion oxidischer Mehrschichtsysteme für Gassensormikroarrays

Fuchs, J. ORCID iD icon; Benz, J.; Bruns, M.; Goschnick, J.


Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Instrumentelle Analytik (IFIA)
Publikationstyp Buchaufsatz
Publikationsjahr 2000
Sprache Deutsch
Identifikator KITopen-ID: 280047320
HGF-Programm 41.08.04 (Vor POF, LK 01)
Seiten 235-36
Erscheinungsvermerk 4.Statuskolloquium des Programms Mikrosystemtechnik, Karlsruhe, 30.-31.März 2000 Wissenschaftliche Berichte, FZKA-6423 (März 2000)
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