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Prozeßmodellierung zur Laseroberflächenmodifikation keramischer Substrate

Gruhn, H.



Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Materialforschung (IMF)
Publikationstyp Buchaufsatz
Jahr 2000
Sprache Deutsch
Identifikator KITopen ID: 280048815
HGF-Programm 41.03; LK 01
Seiten 177-91
Erscheinungsvermerk Workshop zum Thema 'Simulationen in der Mikrosystemtechnik', Forschungszentrum Karlsruhe, 26.Oktober 2000 Wissenschaftliche Berichte, FZKA-6564 (November 2000)
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