| Zugehörige Institution(en) am KIT | Hauptabteilung Prozessinstrumentierung und Elektronik (HPE) |
| Publikationstyp | Buchaufsatz |
| Publikationsjahr | 2000 |
| Sprache | Deutsch |
| Identifikator | KITopen-ID: 280048820 |
| HGF-Programm | 41.03.01 (Vor POF, LK 01) |
| Seiten | 243-56 |
| Erscheinungsvermerk | Workshop zum Thema 'Simulationen in der Mikrosystemtechnik', Forschungszentrum Karlsruhe, 26.Oktober 2000 Wissenschaftliche Berichte, FZKA-6564 (November 2000) |