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Dünnschichtherstellung und Charakterisierung von Materialien für verschleißbeanspruchte Mikrobauteile

Leiste, H.; Rohde, M.; Schneider, J.; Fett, T.



Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Materialforschung (IMF)
Publikationstyp Buchaufsatz
Jahr 2001
Sprache Deutsch
Identifikator KITopen ID: 280050650
HGF-Programm 41.02.01; LK 01
Seiten 69-78
Erscheinungsvermerk Material- und Verfahrensentwicklung für mikrotechnische Hochleistungsbauteile. Strategiefondsprojekt der Hermann von Helmholtz-Gemeinschaft Deutscher Forschungszentren, Abschlusspräsentation, Forschungszentrum Karlsruhe, 23.Oktober 2001 Wissenschaftliche Berichte, FZKA-6662 (Oktober 2001)
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