Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Materialforschung (IMF) Institut für Mikroverfahrenstechnik (IMVT) |
Publikationstyp | Buchaufsatz |
Publikationsjahr | 2001 |
Sprache | Deutsch |
Identifikator | KITopen-ID: 280050656 |
HGF-Programm | 41.02.02 (Vor POF, LK 01) |
Seiten | 135-40 |
Erscheinungsvermerk | Material- und Verfahrensentwicklung für mikrotechnische Hochleistungsbauteile. Strategiefondsprojekt der Hermann von Helmholtz-Gemeinschaft Deutscher Forschungszentren, Abschlusspräsentation, Forschungszentrum Karlsruhe, 23.Oktober 2001 Wissenschaftliche Berichte, FZKA-6662 (Oktober 2001) |