| Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT) |
| Publikationstyp | Buchaufsatz |
| Publikationsjahr | 2003 |
| Sprache | Deutsch |
| Identifikator | KITopen-ID: 280055682 |
| HGF-Programm | 41.06.03 (Vor POF, LK 01) |
| Seiten | 133-43 |
| Erscheinungsvermerk | Wissenschaftliche Berichte, FZKA-6893 (Oktober 2003) |