Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT) |
Publikationstyp | Buchaufsatz |
Publikationsjahr | 2003 |
Sprache | Deutsch |
Identifikator | KITopen-ID: 280055682 |
HGF-Programm | 41.06.03 (Vor POF, LK 01) |
Seiten | 133-43 |
Erscheinungsvermerk | Wissenschaftliche Berichte, FZKA-6893 (Oktober 2003) |