Zugehörige Institution(en) am KIT | Mikrotechnologie (MIKRO) |
Publikationstyp | Buchaufsatz |
Publikationsjahr | 2004 |
Sprache | Deutsch |
Identifikator | KITopen-ID: 280056991 |
HGF-Programm | 41 (POF I, LK 01) Mikrosystemtechnik (MIKRO) |
Seiten | 1-9 |
Erscheinungsvermerk | 5.Statuskolloquium des Programms Mikrosystemtechnik, Karlsruhe, 10.-11.Februar 2004 Wissenschaftliche Berichte, FZKA-6990 (Januar 2004) |