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Programm Mikrosystemtechnik. Status und Visionen

Bley, P.; Fabricius, N.


Zugehörige Institution(en) am KIT Mikrotechnologie (MIKRO)
Publikationstyp Buchaufsatz
Publikationsjahr 2004
Sprache Deutsch
Identifikator KITopen-ID: 280056991
HGF-Programm 41 (POF I, LK 01) Mikrosystemtechnik (MIKRO)
Seiten 1-9
Erscheinungsvermerk 5.Statuskolloquium des Programms Mikrosystemtechnik, Karlsruhe, 10.-11.Februar 2004 Wissenschaftliche Berichte, FZKA-6990 (Januar 2004)
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