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Potential nanoskaliger Keramikpulver für die Mikrosystemtechnik

Hanemann, T.; Ritzhaupt-Kleissl, H.J.; Ruprecht, R.; Szabo, V.; Hausselt, J.



Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Materialforschung (IMF)
Publikationstyp Buchaufsatz
Jahr 2004
Sprache Deutsch
Identifikator KITopen ID: 280056992
HGF-Programm 42.03.10; LK 01
Seiten 13-18
Erscheinungsvermerk 5.Statuskolloquium des Programms Mikrosystemtechnik, Karlsruhe, 10.-11.Februar 2004 Wissenschaftliche Berichte, FZKA-6990 (Januar 2004)
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