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Nanoskalige Schichten für gasanalytische Mikrosysteme

Goschnick, J.; Schneider, T.; Walter, T.



Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Instrumentelle Analytik (IFIA)
Publikationstyp Buchaufsatz
Jahr 2004
Sprache Deutsch
Identifikator KITopen-ID: 280056993
HGF-Programm 41.05.01 (POF I, LK 01)
Seiten 19-24
Erscheinungsvermerk 5.Statuskolloquium des Programms Mikrosystemtechnik, Karlsruhe, 10.-11.Februar 2004 Wissenschaftliche Berichte, FZKA-6990 (Januar 2004)
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