Innovative Prozesstechnologien zur Herstellung 2D polymerer Photonischer Kristalle

Kando, J.; Achenbach, S.; Fettig, R.; Mappes, T.; Mohr, J.; Hermatschweiler, M.; Meisel, D. C.; Wegener, M.

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Zugehörige Institution(en) am KIT	Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT) Institut für Nanotechnologie (INT)
Publikationstyp	Buchaufsatz
Publikationsjahr	2004
Sprache	Deutsch
Identifikator	KITopen-ID: 280056994
HGF-Programm	41.01.01 (POF I, LK 01) LITHOGRAPHIE
Seiten	25-30
Erscheinungsvermerk	5.Statuskolloquium des Programms Mikrosystemtechnik, Karlsruhe, 10.-11.Februar 2004 Wissenschaftliche Berichte, FZKA-6990 (Januar 2004)