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Überführung von Ergebnissen aus der Mikrostrukturforschung in die industrielle Serienfertigung

Kreuzberger, S.; Mohr, J.; Schomburg, W.K.



Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT)
Publikationstyp Buchaufsatz
Jahr 2004
Sprache Deutsch
Identifikator KITopen ID: 280056998
HGF-Programm 41.09.01; LK 01
Seiten 57-62
Erscheinungsvermerk 5.Statuskolloquium des Programms Mikrosystemtechnik, Karlsruhe, 10.-11.Februar 2004 Wissenschaftliche Berichte, FZKA-6990 (Januar 2004)
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