Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Materialforschung (IMF) Mikrotechnologie (MIKRO) |
Publikationstyp | Buchaufsatz |
Publikationsjahr | 2004 |
Sprache | Deutsch |
Identifikator | KITopen-ID: 280056999 |
HGF-Programm | 41.98.02 (POF I, LK 01) Industrieforum FIF |
Seiten | 65-69 |
Erscheinungsvermerk | 5.Statuskolloquium des Programms Mikrosystemtechnik, Karlsruhe, 10.-11.Februar 2004 Wissenschaftliche Berichte, FZKA-6990 (Januar 2004) |